極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビットメモリ配線への応用

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書誌事項

タイトル
"極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビットメモリ配線への応用"
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研究代表者 広瀬全孝
出版者
  • [広瀬全孝]
出版年月
  • 1995.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ゴクビサイコウ エノ サンカマク ノ センタク セイチョウホウ ノ カイハツ ト ギガビット メモリ ハイセン エノ オウヨウ

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注記

[研究課題番号: 04555071]

研究代表者: 広瀬全孝(広島大学工学部教授)

研究分担者: 宮崎誠一, 林俊雄, 小谷秀夫

文献あり

課題番号: 04555071(科学研究費助成事業データベースによる)

表紙に課題番号0455071とあり(誤植)

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796560905344
  • NII書誌ID
    BB27336910
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [東広島]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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