超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究
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書誌事項
- タイトル
- "超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 大見忠弘
- 出版者
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- [大見忠弘]
- 出版年月
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- 1987.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- チョウLSIヨウ ジュンキンゾク タンケッショウ ハクマク ハイセン ノ ケンキュウ
- 昭和61年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
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注記
課題番号: 60460117
研究代表者: 大見忠弘 (東北大学 工学部教授)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796569077760
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- NII書誌ID
- BB10943963
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books