書誌事項
- タイトル
- "Materials and processes for microelectronic systems"
- 責任表示
- edited by K.M. Nair, R. Pohanka, R.C. Buchanan
- 出版者
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- American Ceramic Society
- 出版年月
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- c1990
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"Proceedings of the Symposium on Materials and Processes for Microelectronic Systems held during the First International Ceramic Science and Technology Congress held in Anaheim, CA, on October 31-November 3, 1989"--T.p. verso
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796778709504
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- NII書誌ID
- BA11479536
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- ISBN
- 0944904319
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- LCCN
- 90001219
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/90001219
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Westerville, Ohio
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- データソース種別
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- CiNii Books
