Morphological evolution of electrodeposits -and- electrochemical processing in ULSI fabrication and electrodeposition of and on semiconductors IV : proceedings of the international symposia

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書誌事項

タイトル
"Morphological evolution of electrodeposits -and- electrochemical processing in ULSI fabrication and electrodeposition of and on semiconductors IV : proceedings of the international symposia"
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editors, K. Kondo ... [et al.] ; sponsoring divisions, Electrodeposition, Dielectric Science and Technology, Electronics
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2005
書籍サイズ
24 cm

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注記

"...were held during the 2001 Spring Meeting of the Electrochemical Soeity in Washington, D. C., the 198th meeting"--on pref.

Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796801427840
  • NII書誌ID
    BA73943199
  • LCCN
    2004112427
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/2004112427
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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