Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics : microstructural electrical and optoelectronic properties

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書誌事項

タイトル
"Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics : microstructural electrical and optoelectronic properties"
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Lars Rebohle, Wolfgang Skorupa
出版者
  • Springer
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
25 cm

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