Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics : microstructural electrical and optoelectronic properties
書誌事項
- タイトル
- "Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics : microstructural electrical and optoelectronic properties"
- 責任表示
- Lars Rebohle, Wolfgang Skorupa
- 出版者
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- Springer
- 出版年月
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- c2010
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796802808320
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- NII書誌ID
- BB04297514
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- ISBN
- 9783642144462
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- LCCN
- 2010938144
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2010938144
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Heidelberg
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- 分類
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- DC22: 621.39732
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- 件名
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- LCSH: Metal oxide semiconductors
- LCSH: Silicon -- Optical properties
- LCSH: Photonics
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- データソース種別
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- CiNii Books
