化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける微粒子ダイナミクスの解明

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Bibliographic Information

Title
"化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける微粒子ダイナミクスの解明"
Statement of Responsibility
研究代表者 宝沢光紀
Publisher
  • [宝沢光紀]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • カガクテキ キカイ ケンマ (CMP) プロセス ニオケル ビリュウシ ダイナミクス ノ カイメイ

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Notes

課題番号: 11450288

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796816296192
  • NII Book ID
    BB06325869
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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