(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御"
- 責任表示
- 菊池淳研究代表者
- 出版者
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- [菊池淳]
- 出版年月
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- 1999.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- (TI, AL )N ノ CVDセイマク ニオケル イドウ ゲンショウ ト マク ソセイ セイギョ
- 平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455343)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796871364992
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- NII書誌ID
- BB03314389
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books