書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Ninth Symposium on Plasma Processing"
- 責任表示
- edited by G.S. Mathad, D.W. Hess
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Plasma processing
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注記
"Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions."
Spine title: Plasma processing
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796899330688
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- NII書誌ID
- BA19725126
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- ISBN
- 1566770203
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- LCCN
- 92082777
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92082777
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books
