次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "次世代極薄高誘電率ゲート絶縁膜中の不純物の挙動に関する理論的研究"
- 責任表示
- 白石賢二研究代表
- 出版者
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- [白石賢二]
- 出版年月
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- 2006.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ジセダイ ゴクハク コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマクチュウ ノ フジュンブツ ノ キョドウ ニ カンスル リロンテキ ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 16560020
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796907720192
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- NII書誌ID
- BA77659812
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [つくば]
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- データソース種別
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- CiNii Books
