プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

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Bibliographic Information

Title
"プラズマプロセス用大面積プラズマの生成"
Statement of Responsibility
佐藤徳芳研究代表者
Publisher
  • [佐藤徳芳]
Publication Year
  • 1996.3
Book size
30cm
Other Title
  • プラズマプロセスヨウ ダイメンセキ プラズマ ノ セイセイ
  • 平成7年度科学研究費研究成果(国際学術研究) : (07044303)

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Notes

課題番号: 07044303

情報源は標題紙による

科研費データベースにおける研究課題番号: 07044308

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796937714304
  • NII Book ID
    BB11775933
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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