複酸化物薄膜のプラズマCBD装置シミュレーションコードの開発
書誌事項
- タイトル
- "複酸化物薄膜のプラズマCBD装置シミュレーションコードの開発"
- 責任表示
- 研究代表者 今石宣之
- 出版者
-
- [今石宣之]
- 出版年月
-
- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- フクサンカブツ ハクマク ノ プラズマ CVD ソウチ シミュレーションコード ノ カイハツ
- 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 平成11年度〜平成13年度
- 平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
この図書・雑誌をさがす
注記
研究分担者: 佐藤恒之, 秋山泰伸
[研究課題番号]: 11255508
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797023036032
-
- NII書誌ID
- BA57384675
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [福岡]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books