UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 櫛引淳一
- 出版者
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- [櫛引淳一]
- 出版年月
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- 2003.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- UMS ギジュツ オ モチイタ チョウコウシュウハ SAW デバイスヨウ タンケッショウ キバン ヒョウメン ノ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 12450119
平成12年度～平成14年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797064427776
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- NII書誌ID
- BB10046031
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books