A laser scanner for semiconductor devices
書誌事項
- タイトル
- "A laser scanner for semiconductor devices"
- 責任表示
- David E. Sawyer and David W. Berning
- 出版者
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- U.S. G.P.O.
- 出版年月
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- 1977
- 書籍サイズ
- 26 cm
- 巻次・年月次
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- 400-24
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797079683712
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- NII書誌ID
- BB18576753
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- LCCN
- 76608408
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington
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- 分類
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- LCC: QC100
- LCC: TK7882.S3
- DC: 602/.1 s
- DC: 621.3815/48
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- 件名
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- LCSH: Optical scanners
- LCSH: Semiconductor industry -- Laser use in
- LCSH: Semiconductors -- Testing
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- データソース種別
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- CiNii Books