Microlithography 1999 : advances in resist technology and processing XVI : 15-17 March 1999, Santa Clara, California

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書誌事項

タイトル
"Microlithography 1999 : advances in resist technology and processing XVI : 15-17 March 1999, Santa Clara, California"
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chair/editor Will Conley ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1999
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • : set
タイトル別名
  • Advances in resist technology and processing XVI : microlithography 1999 : 15-17 March 1999, Santa Clara, California

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797087699072
  • NII書誌ID
    BA45995999
  • ISBN
    0819431524
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • データソース種別
    • CiNii Books
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