矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 本多卓也
- Publisher
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- [本多卓也]
- Publication Year
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- 1999.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- クケイハ ハンノウ ガスリュウ オ モチイタ ハンノウセイ スパッター ニヨル ハクマク サクセイ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797089463296
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- NII Book ID
- BA54065681
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [辰口町(石川県)]
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- Data Source
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- CiNii Books