矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製

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Bibliographic Information

Title
"矩形波反応ガス流を用いた反応性スパッターによる薄膜作製"
Statement of Responsibility
研究代表者 本多卓也
Publisher
  • [本多卓也]
Publication Year
  • 1999.3
Book size
30cm
Other Title
  • クケイハ ハンノウ ガスリュウ オ モチイタ ハンノウセイ スパッター ニヨル ハクマク サクセイ

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797089463296
  • NII Book ID
    BA54065681
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [辰口町(石川県)]
  • Data Source
    • CiNii Books
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