光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発
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書誌事項
- タイトル
- "光カプラ型2色温度計による制御機構を備えたレーザ微細加工システムの開発"
- 責任表示
- 研究代表者 上田隆司
- 出版者
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- [上田隆司]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 29cm
- タイトル別名
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- ヒカリ カプラ-ガタ 2ショク オンドケイ ニ ヨル セイギョ キコウ ヲ ソナエタ レーザ ビサイ カコウ システム ノ カイハツ
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注記
課題番号 : 10555246
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797100297856
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- NII書誌ID
- BA52121260
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [金沢]
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- データソース種別
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- CiNii Books