Process and equipment control in microelectronic manufacturing II : 30-31 May, 2001, Edinburgh, UK
CiNii
所蔵館 4館
書誌事項
- タイトル
- "Process and equipment control in microelectronic manufacturing II : 30-31 May, 2001, Edinburgh, UK"
- 責任表示
- Martin Fallon, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cosponsored by Scottish Enterprise (UK) ; cooperating organizations, EOS--European Optical Society, IEE--the Institution of Electrical Engineers (UK)
- 出版者
-
- SPIE
- 出版年月
-
- c2001
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographic references and author index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797100756992
-
- NII書誌ID
- BA59329929
-
- ISBN
- 0819441066
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash.
-
- データソース種別
-
- CiNii Books