ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発

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Bibliographic Information

Title
"ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発"
Statement of Responsibility
松浦孝研究代表者
Publisher
  • [松浦孝]
Publication Year
  • 1993.3
Book size
30cm
Other Title
  • ラングミュア キュウチャクソウ オ リヨウシタ カンゼン センタクセイ オ ユウスル イホウセイ エッチング ギジュツ ノ カイハツ
  • 平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号03555057)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797118689152
  • NII Book ID
    BB11919283
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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