ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発"
- 責任表示
- 松浦孝研究代表者
- 出版者
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- [松浦孝]
- 出版年月
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- 1993.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ラングミュア キュウチャクソウ オ リヨウシタ カンゼン センタクセイ オ ユウスル イホウセイ エッチング ギジュツ ノ カイハツ
- 平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号03555057)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797118689152
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- NII書誌ID
- BB11919283
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books