ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発"
- 責任表示
- 足立幸志研究代表
- 出版者
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- [足立幸志]
- 出版年月
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- 2005.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ナノメートル イチギメ ノタメノ マサツ クドウ キコウ ト インテリジェント リニア ガイド ノ カイハツ
- 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360078)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797152542976
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- NII書誌ID
- BB10636308
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books