書誌事項
- タイトル
- "Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication"
- 責任表示
- by T. Makabe and Z. Petrović
- 出版者
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- Taylor & Francis
- 出版年月
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- 2006
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797164610176
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- NII書誌ID
- BA76918777
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- ISBN
- 9780750309769
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- LCCN
- 2005056888
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2005056888
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boca Raton, FL
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- 件名
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- LCSH: Plasma engineering
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- データソース種別
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- CiNii Books
