極紫外域(60nm～20nm)における高反射率多層膜鏡の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "極紫外域(60nm～20nm)における高反射率多層膜鏡の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 渡辺誠
- 出版者
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- [渡辺誠]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ゴク シガイイキ 60NM 20NM ニオケル コウハンシャリツ タソウマクキョウ ノ カイハツ
- 平成7年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2)) 研究成果報告書(研究課題番号07559002)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797235868032
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- NII書誌ID
- BA86706833
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
