薄膜パターン・マスクを用いない新しいX線縮小転写露光装置の試作

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Bibliographic Information

Title
"薄膜パターン・マスクを用いない新しいX線縮小転写露光装置の試作"
Statement of Responsibility
研究代表者 松村英樹
Publisher
  • [松村英樹]
Publication Year
  • 1987.3
Book size
26cm
Other Title
  • ハクマク パターン マスク オ モチイナイ アタラシイ Xセン シュクショウ テンシャ ロコウ ソウチ ノ シサク

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Notes

研究課題番号: 60850069

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797237290368
  • NII Book ID
    BB23510685
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東広島]
  • Data Source
    • CiNii Books
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