酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用"
- 責任表示
- 研究代表者 内田和男
- 出版者
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- [電気通信大学]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- サンカ シリコン ナノ ポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ エノ オウヨウ
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注記
課題番号: 11650317
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797243419776
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- NII書誌ID
- BB26402088
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [調布]
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- データソース種別
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- CiNii Books
