Control of hydrocarbon radicals and film deposition by using an RF whistler wave discharge
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書誌事項
- タイトル
- "Control of hydrocarbon radicals and film deposition by using an RF whistler wave discharge"
- 責任表示
- Tetsu Mieno, Tatsuo Shoji, Kiyoshi Kadota
- 出版者
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- Plasma Science Center, Nagoya University
- 出版年月
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- 1991
- 書籍サイズ
- 30 cm
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注記
Cover title
"Received--September 25, 1991"--Cover
Includes bibliographical references (p. 11)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797253073792
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- NII書誌ID
- BA21909223
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Nagoya
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- データソース種別
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- CiNii Books