Advanced semiconductor processing and characterization of electronic and optical materials : January 24-25, 1984, Los Angeles, California
書誌事項
- タイトル
- "Advanced semiconductor processing and characterization of electronic and optical materials : January 24-25, 1984, Los Angeles, California"
- 責任表示
- chairmen/editors: Devendra K. Sadana, Carl M. Lampert ; cooperating organizations: American Vacuum Society, Electronic Materials and Process Division
- 出版者
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- S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- c1984
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797277010944
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- NII書誌ID
- BA23969135
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- ISBN
- 0892524987
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- LCCN
- 84050522
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/84050522
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books