Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '93 : proceedings of the 5th International Autumn Meeting held in Chossewitz, near Frankfurt(Oder), Germany, October 09-14, 1993
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書誌事項
- タイトル
- "Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '93 : proceedings of the 5th International Autumn Meeting held in Chossewitz, near Frankfurt(Oder), Germany, October 09-14, 1993"
- 責任表示
- editors, H.G. Grimmeiss, M. Kittler and H. Richter
- 出版者
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- SciTec Publications
- 出版年月
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- 1993
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797295268096
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- NII書誌ID
- BA21152678
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- ISBN
- 3908450004
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- sz
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Untermuhleweg, Switzerland
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- データソース種別
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- CiNii Books
