書誌事項
- タイトル
- "The science and engineering of microelectronic fabrication"
- 責任表示
- Stephen A. Campbell
- 出版者
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- Oxford University Press
- 2nd ed
- 出版年月
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- 2001
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797343190784
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- NII書誌ID
- BA6355280X
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- ISBN
- 0195136055
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- LCCN
- 00051022
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00051022
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books
