CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響"
- 責任表示
- 研究代表者 三好良夫
- 出版者
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- 大阪大学基礎工学部
- 出版年月
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- 1994.3
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマクナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ
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注記
[課題番号]: 03650063
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797363829376
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- NII書誌ID
- BB23817214
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊中]
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- データソース種別
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- CiNii Books
