書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the third Symposium on Plasma Processing"
- 責任表示
- edited by: J. Dieleman, R.G. Frieser, G. S. Mathad
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1982
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Plasma processing
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注記
Includes bibliographical references and index
"... held during the Autumn meeting of the Electrochemical Society, October 11-16, 1981 in Denver, Colo." -- on pref
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797371984128
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- NII書誌ID
- BA84886020
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- LCCN
- 82082859
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/82082859
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- 分類
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- DC: 530.44
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- データソース種別
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- CiNii Books
