書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the third Symposium on Plasma Processing"
- 責任表示
- edited by: J. Dieleman, R.G. Frieser, G. S. Mathad
- 出版者
-
- Electrochemical Society
- 出版年月
-
- c1982
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
-
- Plasma processing
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
"... held during the Autumn meeting of the Electrochemical Society, October 11-16, 1981 in Denver, Colo." -- on pref
Sponsored by: the Dielectrics & Insulation Division and the Electronics Division
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797371984128
-
- NII書誌ID
- BA84886020
-
- LCCN
- 82082859
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/82082859
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Pennington, NJ
-
- 分類
-
- DC: 530.44
-
- データソース種別
-
- CiNii Books