マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用

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Bibliographic Information

Title
"マイクロアイスジェットの生成と3次元半導体素子用層間絶縁膜の選択的加工法への適用"
Statement of Responsibility
厨川常元研究代表者
Publisher
  • [厨川常元]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • マイクロアイスジェット ノ セイセイ ト 3ジゲン ハンドウタイ ソシ ヨウソウカン ゼツエンマク ノ センタクテキ カコウホウ ヘノ テキヨウ
  • 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450051)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797395978752
  • NII Book ID
    BB06063412
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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