Surface scattering and diffraction for advanced metrology II : 9 July 2002 Seattle, Washington, USA

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書誌事項

タイトル
"Surface scattering and diffraction for advanced metrology II : 9 July 2002 Seattle, Washington, USA"
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Zu-Han Gu, Alexei A. Maradudin, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations the Boeing Company (USA) ... [et al.]
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2002
書籍サイズ
28 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797428007552
  • NII書誌ID
    BA6196980X
  • ISBN
    0819445479
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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