原子論的シミュレーションによる半導体超微細構造のひずみ緩和機構の研究

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書誌事項

タイトル
"原子論的シミュレーションによる半導体超微細構造のひずみ緩和機構の研究"
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研究代表者 新谷一人
出版者
  • [電気通信大学]
出版年月
  • 2002.9
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ゲンシロンテキ シミュレーション ニヨル ハンドウタイ チョウビサイ コウゾウ ノ ヒズミ カンワ キコウ ノ ケンキュウ

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注記

課題番号: 12650074

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797484335616
  • NII書誌ID
    BB2674384X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [調布]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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