Proceedings of the seventh symposium on automated integrated circuits manufacturing
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the seventh symposium on automated integrated circuits manufacturing"
- 責任表示
- edited by Vaughn E. Akins, Hiroyuki Harada ; Electronics and Dielectric Science and Technology Divisions
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 23 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797514850816
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- NII書誌ID
- BA14412407
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- ISBN
- 1566770041
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- LCCN
- 92070529
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92070529
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books
