Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis
書誌事項
- タイトル
- "Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis"
- 責任表示
- edited by Jerome J. Cuomo and Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman
- 出版者
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- Noyes Publications
- 出版年月
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- c1989
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797527465344
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- NII書誌ID
- BA07446307
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- ISBN
- 081551199X
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- LCCN
- 88038244
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88038244
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Park Ridge, N.J., U.S.A.
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- 分類
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- LCC: QC702.7.I55
- DC19: 621.381/7
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
