3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究"
- 責任表示
- 厨川常元研究代表者
- 出版者
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- [厨川常元]
- 出版年月
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- 1998.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- 3ジゲン ビサイ ケイジョウ ソウセイ ノ タメ ノ デンキ ネンセイ リュウタイ エンヨウ チョウセイミツ ケンマホウ ノ カイハツ ニカンスル キソテキ ケンキュウ
- 平成8-9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455066)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797579872128
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- NII書誌ID
- BB03299106
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books