触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

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Bibliographic Information

Title
"触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術"
Statement of Responsibility
中山弘監修
Publisher
  • シーエムシー出版
  • 普及版
Publication Year
  • 2013.11
Book size
26cm
Other Title
  • ショクバイ CVD Cat‐CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
  • Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD) : a new radical‐based processing technology

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Notes

文献: 章末

2008年の普及版

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797602897792
  • NII Book ID
    BB13944703
  • ISBN
    9784781307404
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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