原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発"
- 責任表示
- 研究代表者:足立元明
- 出版者
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- [大阪府立大学]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ゲンリョウ ガス ノ イオンカ ニ ヨル ムハツジン CVB セイマク ソウチ ノ カイハツ
- 平成9〜11年度科学研究補助金「基盤研究(B)(1)」研究成果報告書
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注記
課題番号: 09555240
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797613582720
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- NII書誌ID
- BA4726842X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [堺]
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- データソース種別
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- CiNii Books