新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御

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Bibliographic Information

Title
"新制御方式による半導体露光装置の高速ナノメータ同期位置制御"
Statement of Responsibility
研究代表者 辻輝生
Publisher
  • [九州工業大学]
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • シン セイギョ ホウシキ ニヨル ハンドウタイ ロコウ ソウチ ノ コウソク ナノメータ ドウキ イチ セイギョ
  • 平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 14350122

研究分担者: 二見茂, 浜松弘, 牧野内進, 中村祐司

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000797621083520
  • NII Book ID
    BA79313943
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [北九州]
  • Data Source
    • CiNii Books
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