ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究"
- 責任表示
- 浅野種正研究代表
- 出版者
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- [九州工業大学]
- 出版年月
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- 2006.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ナノ・インプリント ギジュツ ニヨル シリコン ハクマク ノ ケッショウ イチ ト ホウ イセイギョ ノ ケンキュウ
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注記
参考文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797696294912
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- NII書誌ID
- BB05268985
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [北九州]
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- データソース種別
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- CiNii Books