Multichamber and in-situ processing of electronic materials : 10-11 October 1989, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Multichamber and in-situ processing of electronic materials : 10-11 October 1989, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Robert S. Freund, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
-
- The Society
- 出版年月
-
- c1990
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797769553152
-
- NII書誌ID
- BA24466719
-
- ISBN
- 0819402249
-
- LCCN
- 89043524
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/89043524
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash., USA
-
- データソース種別
-
- CiNii Books