垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エッチング技術の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "垂直極微細加工可能なSiの自己制限型原子層エッチング技術の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 松浦孝
- 出版者
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- [松浦孝]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- スイチョク キョク ビサイ カコウ カノウナ SI ノ ジコ セイゲンガタ ゲンシソウ エッチング ギジュツ ノ カイハツ
- 平成6年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
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注記
課題番号: 06555089
研究代表者: 松浦孝(東北大学 電気通信研究所 助教授)
科学研究費補助金(基盤研究(A)) → 科学研究費補助金(基盤研究(A)(2)) へ"(2)"を追加した手書き修正あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797881111552
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- NII書誌ID
- BB1085725X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
