フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用"
- 責任表示
- 研究代表者 古屋謙治
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2007.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ
- 平成17～18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
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注記
課題番号: 17540471
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797912784256
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- NII書誌ID
- BA8218205X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books