フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用

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書誌事項

タイトル
"フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用"
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研究代表者 古屋謙治
出版者
  • [九州大学]
出版年月
  • 2007.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ
  • 平成17~18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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注記

課題番号: 17540471

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797912784256
  • NII書誌ID
    BA8218205X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [福岡]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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