Silicon science and advanced micro-device engineering II/ edited by Osamu Hanaizumi, Masafumi Unno and Kenta Miura

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書誌事項

タイトル
"Silicon science and advanced micro-device engineering II/ edited by Osamu Hanaizumi, Masafumi Unno and Kenta Miura"
出版者
  • Trans Tech Pub.
出版年月
  • c2012
書籍サイズ
25 cm

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注記

Selected, peer reviewed papers from the 6th International Symposium on Silicon Science and the 2nd International Conference on Advanced Mico-Device Engineering (ISSS & AMDE 2010)

Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000797937659008
  • NII書誌ID
    BB07861667
  • ISBN
    9783037852859
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    sz
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Zuerich
  • データソース種別
    • CiNii Books
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