書誌事項
- タイトル
- "Process engineering analysis in semiconductor device fabrication"
- 責任表示
- Stanley Middleman, Arthur K. Hochberg
- 出版者
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- McGraw-Hill
- 出版年月
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- c1993
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000797943504128
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- NII書誌ID
- BA29252530
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- ISBN
- 0070418535
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- LCCN
- 92016442
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92016442
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books
