マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ"
- 責任表示
- 寺本章伸研究代表
- 出版者
-
- [寺本章伸]
- 出版年月
-
- 2005.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- マイクロハ プラズマ コウヒンシツ ゲート ゼツエンマク オ モチイタ チョウコウタイアツ SiC デンリョクヨウ トランジスタ
- 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360156)
この図書・雑誌をさがす
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000797949819520
-
- NII書誌ID
- BB10651742
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [仙台]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books