Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.
書誌事項
- タイトル
- "Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A."
- 責任表示
- editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg
- 出版者
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- North-Holland
- 出版年月
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- c1983
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798034658432
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- NII書誌ID
- BA03265606
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- ISBN
- 0444007822
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- LCCN
- 83008028
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/83008028
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TA1673
- DC19: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books