In-situ patterning : selective area deposition and etching : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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タイトル
"In-situ patterning : selective area deposition and etching : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Anthony F. Bernhardt, Jerry G. Black, Robert Rosenberg
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1990
書籍サイズ
24 cm

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